技術力
晶正光電のエンコーダディスク製造のコア工程:研磨・ポリッシング、光学コーティング、フォトリソグラフィ・パターニング、レーザー精密切断、マシンビジョン検査。
エンコーダディスクは光学式エンコーダの中核部品であり、その目盛線品質、ピッチの均一性、エッジ品質はエンコーダの分解能と信号安定性に直接影響します。晶正光電は、エンコーダディスク製造において、基板処理から出荷検査まで一貫した精密工程体制を構築しています。
研磨・ポリッシング
基板を精密に研磨・ポリッシングして平坦度と表面品質を管理し、後工程の成膜、フォトリソグラフィ・パターニング、検査のための良好な下地を整えます。
光学コーティング
光学系の要件に応じて反射膜または反射防止膜を成膜し、透過型・反射型それぞれのエンコーダ構造に適合させ、光信号の利用効率を高めます。
精密フォトリソグラフィ・パターニング
フォトリソグラフィ工程により、ガラスまたは金属基材上にエンコーダディスクの目盛線パターンを形成します。機械的な刻線と比べ、フォトリソグラフィではより鮮明なラインエッジ、より均一なピッチ、より高い明暗コントラストが得られ、高分解能エンコーダディスクを実現するための鍵となる工程です。
- インクリメンタル・アブソリュートのマルチトラックパターンに対応
- ラインエッジが鮮明で、高コントラスト
- ピッチが均一で、信号の内挿に有利
レーザー精密切断
レーザーでエンコーダディスクの外周を切断し、内径加工も行います。レーザー加工は熱影響部が小さくチッピングが少ないため、基板エッジの品質を安定して維持できます。
- レーザー外周切断:エンコーダディスクの外径形成に使用。熱影響部が小さく、チッピングが少なく、エッジ品質が安定しています。
- レーザー内径加工:エンコーダディスク中心の取付穴の加工に使用。穴位置精度を管理できます。
マシンビジョン自動検査
自動マシンビジョンシステムを導入して、エンコーダディスクの目盛線と表面欠陥を識別・検査し、主要項目を1枚ごとに確認することで、出荷製品の一貫性と信頼性を確保しています。
- 目盛線の完全性とピッチの検査
- 表面欠陥(キズ、汚れ、欠け)の識別
- 主要寸法の自動測定
技術記事
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